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半导体行业压缩空气解决方案|萨震 Class 0 无油空压机

半导体行业压缩空气解决方案

满足功率半导体、先进封装、TGV/TSV 刻蚀等高端制造场景,Class 0 级无油压缩空气系统,为芯片良率、工艺稳定与能源效率提供可靠保障。

萨震 CH-300 无油磁悬浮空压机

电子半导体制造是否存在以下挑战?

压缩空气不仅是动力能源,更会直接影响产品良率与生产稳定性。任何油雾、颗粒、水分污染,甚至压力波动,都可能导致产品报废与停线损失。

🧪

洁净度挑战

  • 油雾污染导致芯片短路
  • 焊盘失效与键合异常
📈

压力稳定挑战

  • 先进封装与 TGV 工艺要求稳定压力
  • 避免刻蚀不均与侧壁粗糙
⚙️

连续运行挑战

  • 封测车间 7×24 小时生产
  • 停机代价极高
💡

能耗成本挑战

  • 压缩空气系统占工厂总电耗 20%-40%
  • 企业面临持续降本压力

半导体生产流程

01

半导体封装

MOSFET、IGBT|键合、塑封、测试等工序。

02

先进封装工艺

2.5D / 3D 封装|微凸点工艺,对洁净度要求高。

03

TGV / TSV 刻蚀

DRIE 深反应刻蚀|玻璃通孔加工,要求压力稳定。

04

芯片测试检验

测试、分选、检测工位,需要连续稳定供气。

05

包装与出货

包装吹扫、气动阀门、自动化设备辅助用气。

萨震压缩空气系统供气方案

无油供气系统

封装工艺
先进封装工艺
TGV / TSV 刻蚀工艺

微油供气系统

包装设备
吹扫工位
气动阀门驱动系统

核心工艺优先保障洁净与稳定,辅助生产优先兼顾节能与成本控制。

萨震产品优势

无油磁悬浮空压机

  • 无油洁净,降低油雾污染风险
  • 磁悬浮无接触运行,减少机械摩擦
  • 适合连续生产工况下的稳定供气
核心工艺区Class 0 无油高稳定供气
萨震 CH-300 无油磁悬浮空压机

永磁变频双级空压机

  • 适合中高负载辅助工序
  • 变频调节,减少空载与卸载浪费
  • 可搭配三级过滤用于非核心洁净需求
萨震永磁变频双级压缩空压机

永磁变频单级空压机

  • 适合包装、阀门、一般吹扫
  • 部署灵活,满足分散用气点
  • 降低辅助区设备采购与运行成本
萨震永磁变频单级空压机

离心式压缩机系统

适合大流量、集中式站房供气,可与后处理、储气、双管路和萨震云平台组合,支撑工厂 7×24 小时连续运行。

  • 大流量集中供气,适配厂务站房
  • 宽调节区间,减少放空损失
  • 支持远程监控与预测性维护
萨震 SC1000 离心式压缩机系统

节能

  • 磁悬浮轴承无接触运行,减少传动损失
  • 60%~100% 宽范围调节,降低放空浪费

稳定

  • 电机、驱动、磁控一体化匹配
  • 具备轻度喘振监测与断电轴承保护

静音

  • 定制隔音罩,平均降噪 10~15dB
  • 无接触结构降低振动与机械噪音

智能

  • PLC 控制 + 4G 物联网模块
  • 黑匣子记录故障数据,支持预测性维护

萨震产品优势

🏅

Class 0 级无油认证

  • 通过国际 Class 0 认证
  • 含油量 ≤ 0.01ppm
  • 保障芯片制造洁净需求
🎯

超高稳定性

  • 智能压力控制系统
  • 压力波动 ≤ ±1%
  • 适配 DRIE、TGV、TSV、微凸点工艺

系统节能设计

  • 双级压缩与永磁变频降低运行电耗
  • 结合用气分区,避免高规格设备覆盖低等级工序
🏭

方案级交付能力

  • 覆盖主机、后处理、储气、管路与远程运维
  • 5.5kW~1000kW+ 适配不同规模工厂

从良率、停机、能耗到运维效率全面提升

通过分级供气、智能控制与全生命周期服务,帮助您获得更稳定、更洁净、更低成本的压缩空气系统。

良率提升,工艺更稳定
停机风险降低,连续生产保障
25%-35%能耗降低空间
7×24远程监控,运维效率提升
客户案例

服务4万+客户

萨震 SC1000 离心式压缩机系统

服务保障体系

萨震云智能运维平台 + 全国服务网络

实时监测

  • 压力
  • 温度
  • 电流
  • 能耗

远程诊断

  • 异常预警
  • 趋势分析
  • 运行建议

现场服务

  • 7×24 小时响应
  • 工程师到场
  • 备件保障

预防性维护

  • 巡检计划
  • 系统优化
  • 节能改造建议

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